TurmAndreas Zerr, Peter Hapke, Claus Nieländer, Thomas Flierl, Friederike Meyer · First published 2004Open the Tome
VHF-Plasmaabscheidung von mikrokristallinen Silizium ([mu]c-Si:H)Peter Hapke · First published 1995Open the Tome
![Placeholder cover for VHF-Plasmaabscheidung von mikrokristallinen Silizium ([mu]c-Si:H)](/_next/image?url=%2Fimages%2Fparchment.jpg&w=3840&q=75)